010-87681080
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技術(shù)文章
TECHNICAL ARTICLES
更新時間：2020-12-29
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輕松檢測85° 尖銳角
 有尖銳角的樣品（剃刀） | 采用了有著高N.A. 的物鏡和光學系統(tǒng)（能大限度發(fā)揮405 nm 激光性能），LEXT OLS4100 可以地測量一直以來無法測量的有尖銳角的樣品。這有利于粗糙度的測量。 |
 LEXT 物鏡 |  使用物鏡時的小象差 |
高度分辨率10 nm，輕松測量微小輪廓
(MPLAPON50XLEXT) 高度差標準 類型B, PTB-5, Institut für Mikroelektronik, Germany, 6 nm 高度測量中的檢測 | 由于采用405 nm 的短波長激光和更高數(shù)值孔徑的物鏡，OLS4100 達到了0.12 μm 的平面分辨率。因此，可以對樣品的表面進行亞微米的測量。結(jié)合高度的0.8 nm 的光柵讀取能力和軟件算法，例如奧林巴斯開的I-Z 曲線（請參閱第23 頁），OLS4100 可以分辨出10 nm 的高度差。 |
克服反射率的差異
 鉆石電鍍工具 物鏡：MPLAPON50XLEXT | OLS4100 采用了雙共焦系統(tǒng)，結(jié)合高靈敏度的探測器，那些具有不同反射率材料的樣品，也能在OLS4100 上獲得鮮明的影像。 |
適用于透明層
多層模式
LEXT OLS4100 全新的多層模式則可以識別多層樣品各層上反射光強度的峰值區(qū)域，并將各層設為焦點，這樣即可實現(xiàn)對透明樣品上表面的觀察和測量，而且也可以對多層樣品的各層進行分析和厚度測量。
觀察／測量透明材料的各個層
多層模式可實現(xiàn)對透明樣品的頂部的透明層進行觀察和測量。即使在玻璃基片上覆有一層透明樹脂層，也可測量出各層的形狀和粗糙度以及表面覆膜的厚度。
 | 通常表示測量儀器的測量精度的，有2 個指標："正確性"，即測量值與真正值的接近程度，和"重復性"，即多次測量值的偏差程度。OLS4100 是業(yè)界同時保證了"正確性"和"重復性"的激光掃描顯微鏡。 |
 | OLS4100 從物鏡制造到成品全部在奧林巴斯工廠內(nèi)完成，并按照一系列嚴格的標準進行全面的檢驗并確保產(chǎn)品的質(zhì)量后方才出廠 。交付產(chǎn)品時，由選拔出來的技術(shù)人員，在實際使用環(huán)境中執(zhí)行校正和后的調(diào)整。 |
更多的測量類型
| 高度測量 可以測量輪廓截面上任意兩點之間的高低差異。 輪廓測量也同樣可用 | 表面粗糙度測量 可以測量線粗糙度，以及平面整體的面粗糙度。 |
| 面積／體積測量 根據(jù)設置在輪廓截面上的任意閾值，可以測量其上部或下部的體積。 | 粒子測量 (選購件) 可以通過分離功能使粒子自動分離，設置閾值，根據(jù)ROI 設置檢測范圍。 |
| 幾何測量 可以測量影像上任意兩點之間的距離。還可以測量 任意區(qū)域的面積。 | 膜厚測量 (選購件) 可以根據(jù)測出的對焦位置，測量透明介質(zhì)的膜厚。 |
自動尋邊測量 (選購件)
可以自動尋邊，測量線寬和圓，減少人為的測量誤差。
OLYMPUS Stream (選購件)
工作流程解決方案，實現(xiàn)了的圖像分析性能
對于粒子尺寸分析或非金屬夾雜物級別的測量，可以使用OLYMPUS Stream 顯微圖像軟件，該軟件可以從OLS4100 直接上傳。
更的粗糙度測量
LEXT OLS4100 參數(shù)
作為表面粗糙度測量的新標準，奧林巴斯開發(fā)了LEXT OLS4100。對LEXT OLS4100 進行了與接觸式表面粗糙度測量儀同樣的校正，并在LEXT OLS4100 上配置了幾乎所有必要的粗糙度參數(shù)和濾鏡。這樣，對于使用接觸式表面粗糙度測量儀的用戶來說，能得到操作性和互換性良好的輸出結(jié)果。另外，還搭載了粗糙度模式，可以用自動拼接功能測量樣品表面直線距離長為100 mm 的粗糙度。 OLS4100 具有與接觸式表面粗糙度測量儀相同的表面輪廓參數(shù)，因此具有相互兼容的操作性和測量結(jié)果。
| 截面曲線 | Pp, Pv, Pz, Pc, Pt, Pa, Pq, Psk, Pku, Psm, PΔq, Pmr(c), Pδc, Pmr |
| 粗糙度曲線 | Rp, Rv, Rz, Rc, Rt, Ra, Rq, Rsk, Rku, Rsm, RΔq, Rmr(c),Rδc, Rmr, RZJIS, Ra75 |
| 波動曲線 | Wp, Wv, Wz, Wc, Wt, Wa, Wq, Wsk, Wku, Wsm, WΔq, Wmr(c), Wδc, Wmr |
| 負荷曲線 | Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2 |
| 基本圖形 | R, Rx, AR, W, Wx, AW, Wte |
| 粗糙度 (JIS1994) | Ra(JIS1994), Ry, Rz(JIS1994), Sm, S, tp |
| 其他 | R3z, P3z, PeakCount |
適應下一代參數(shù)
OLS4100 具有符合ISO25178 的粗糙度（3D）參數(shù)。通過評估平面區(qū)域，可以進行高可靠性的分析。
| 振幅參數(shù) | Sq, Ssk, Sku, Sp, Sv, Sz, Sa |
| 功能參數(shù) | Smr(c), Sdc(mr), Sk, Spk, Svk, SMr1, SMr2, Sxp |
| 體積參數(shù) | Vv(p), Vvv, Vvc, Vm(p), Vmp, Vmc |
| 橫向參數(shù) | Sal, Str |
• LEXT OLS4100 與表面粗糙度測量儀的結(jié)果相兼容。
微細粗糙度
使用接觸式表面粗糙度測量儀，無法測量比探針的針尖直徑更細微的表面輪廓。而OLS4100 有著微小的激光光斑直徑，所以能夠?qū)ξ⒓毿螤钸M行高分辨率的粗糙度測量。
非接觸式測量
使用接觸式表面粗糙度測量儀測量柔軟的樣品時，樣品容易受到探針損傷而變形。另外，帶有粘性的樣品會粘在探針上，無法得到正確的測量結(jié)果。而非接觸式的激光顯微鏡OLS4100，不會影響樣品的表面狀態(tài)，可以準確的測量樣品
的表面粗糙度。
高分子薄膜3D 影像（上）和粗 糙度測量結(jié)果（左） |
柔軟的
帶有粘性的樣品 微米級特征的測量
使用接觸式表面粗糙度測量儀，其探針無法進入微米級的區(qū)域，所以不能對這些區(qū)域的特征進行測量。而OLS4100 可以正確定位，能輕松測量出特定微小區(qū)域的粗糙度。
 焊線 |  |
高畫質(zhì)影像 清晰鮮明的3D 彩色影像
三種類型的綜合影像
 真彩3D 影像 | LEXT OLS4100 可以同時獲取三種不同類型的影像信息：真彩3D 影像、激光全焦點3D 影像和高度信息影像。 |
 激光全焦點3D 影像 |  高度信息影像 |
再現(xiàn)自然色
OLS4100 采用了白色的LED 光源和高色彩保真度的CCD 照相裝置以生成清晰、色彩自然的影像，所得影像可以與的光學顯微鏡相媲美。
 2D 彩色影像（紙張上的墨點、物鏡20x） |  3D 彩色影像（紙張上的墨點、物鏡20x） |
更加真實地再現(xiàn)表面, 激光DIC（激光微分干涉）
微分干涉觀察是超越了激光顯微鏡的分辨率、可以觀察到納米以下微小表面輪廓的觀察方法。LEXT OLS4100 通過安裝在物鏡上方的DIC 分光棱鏡，將照明光橫向分為兩束光線來照射樣品。獲取由樣品直接反射回來的兩束光線的差，生成明暗對比，從而實現(xiàn)對微小凹凸的立體觀察。LEXTOLS4100 擁有DIC 激光模式，即使是低倍率的動態(tài)觀察，也能得到接近電子顯微鏡分辨率的影像。
 無DIC 的激光影像（高分子薄膜） |  有DIC 的激光影像（高分子薄膜） |
 無DIC 的激光影像（5x 物鏡） 高度差標準 類型 B, PTB-5, Institut für Mikroelektronik, Germany |  有DIC 的激光影像（5x 物鏡） 高度差標準 類型 B, PTB-5, Institut für Mikroelektronik, Germany, 實際高度：6 nm |
亮度和對比度之間更加優(yōu)化的平衡, HDR（高動態(tài)范圍）影像
OLS4100 的高動態(tài)范圍（HDR）功能結(jié)合了多張以不同曝光率獲取的光學顯微鏡影像，并且分別控制著亮度、對比度、紋理和飽和度，因此HDR 可以以寬動態(tài)范圍處理影像。OLS4100 尤其可以對紋理不明顯的樣品的彩色影像進行清晰地觀察。
 無HDR 的彩色影像 （致密的織物、物鏡20x、變焦1x） |  有HDR 的彩色影像 （致密的織物、物鏡20x、變焦1x） |
穩(wěn)定測量和成像環(huán)境
 復合減震機構(gòu) | 為了排除來自外部的影響，穩(wěn)定測量和成像，OLS4100 機座內(nèi)置了由螺旋彈簧和阻尼橡膠組成的"復合減震機構(gòu)"以穩(wěn)定操作環(huán)境。所以，可以把OLS4100 放在普通的桌子進行測量作業(yè)，不需要的防震平臺。 |
直觀的GUI 實現(xiàn)系統(tǒng)化的工作流程 簡易的三步流程
使用LEXT OLS4100，只需將樣品放置在載物臺上之后即可立即開始觀察／測量。由于采用了簡易的三步流程——成像、測量和報表——即使用戶不熟悉激光顯微鏡，也可以快速掌握測量的流程。
快速的宏觀圖拼接
 | 掃描大面積區(qū)域時有兩種拼接方法可用：獲取實時影像時的手動模式和快速獲取影像時的自動模式。操作非?？焖俸唵?mdash;—2D 拼接只需一鍵操作即可開始，并且可立即獲得大面積的拼接影像。自動模式下有五級拼接尺寸可用，分別為：3×3、5×5、7×7、9×9 和21×21。對于影像上不需要的部分，可以使用簡單的鼠標或控制桿操作手動刪除。 |
用于簡易3D 成像的智能掃描
自動3D 影像獲取
傳統(tǒng)的3D 掃描需要復雜的設置，這對新手來說非常困難。LEXT OLS4100 采用了的智能掃描模式，即使是初次使用的用戶也只需一鍵操作即可快速獲取3D 影像。除了上下限的設置，系統(tǒng)也會根據(jù)要獲取的影像自動設置合適的亮度。這讓即使是初次使用的用戶也能獲得的高度測量和的影像。
3D 成像
自動亮度控制
大大縮短了獲取時間
更快的掃描速度
新的超快模式獲取掃描影像的速度是傳統(tǒng)快速模式的2 倍，約是精細模式的9 倍。因此，對于那些需要非常精細的Z 軸移動和*的放大倍率的樣品，該模式就非常地適用，例如對刀具的進行檢測。
相同時間內(nèi)獲取的影像數(shù)量：
實際的掃描時間根據(jù)所用倍率和Z 獲取范圍而有所不同。
只在所需區(qū)域進行高速獲取
OLS4100 還配備了帶寬掃描模式，用于測量有限的目標區(qū)域，測量性能比傳統(tǒng)模式快1/8。
 全局掃描獲取 |  帶寬掃描獲?。?/8） |
全新的高速拼接模式
從大范圍拼接影像中目標區(qū)域
在宏觀圖中，要觀察的區(qū)域可以從大范圍的視圖中進行。在自動模式中，通過設置多625 幅影像的矩形拼接尺寸，可以自動生成區(qū)域圖，所需的時間大約只需要通常的一半。下一步，在區(qū)域圖上所需的影像并立即開始觀察。
 拼接區(qū)域：方形（21×3）63 片 |  拼接區(qū)域：圓形（3 點） |
手動所需的影像區(qū)域
在實時模式中，通過在屏幕上跟蹤所需的區(qū)域，可以手動選擇要觀察的區(qū)域。當觀察的樣品具有不規(guī)則的形狀時，該功能非常實用。
快速影像拼接
要使用智能掃描模式獲取影像時，只需一鍵操作即可。由于智能掃描會自動調(diào)整Z 軸方向的設置，Z 軸方向的影像獲取可以僅局限在所需的區(qū)域，因此可以在進行大范圍大功率觀察時節(jié)省很多時間。
 智能掃描模式 |  傳統(tǒng)獲取模式 |
一鍵操作定制報表
OLS4100 在測量后可使用一鍵操作創(chuàng)建報表，而且使用編輯功能可以定制各個報表模板。將測量結(jié)果復制和粘貼到Word 或表格應用程序也非常簡單，就像從數(shù)據(jù)庫取回所需的影像和報表一樣。
目標的一鍵解決方案
為用戶設計的詳細的向?qū)Чδ苋∠巳唛L的培訓，讓新手也能快速簡單地進行操作。
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